FHR Anlagenbau GmbH
Adresse: Am Huegel 2 01458 Ottendorf-Okrilla Germany
Website: http://www.fhr.de
FHR Anlagenbau GmbH ist ein innovatives Unternehmen in der Branche der Vakuum Verarbeitung und Dünnschicht-Technologien. Das Unternehmen wurde gegründet 1991 in Dresden, Deutschland durch eine Gruppe von Ingenieuren mit einem starken persönlichen Hintergrund der Ausrüstung Design und Technologien mit dem Ziel zu entwickeln und zu verkaufen neue Konzepte und Lösungen für vielfältige Anwendungen von dünnen Schichten in der Industrie und F&D.
FHR liefert Dünnschicht-Technologien und bietet Kunden auf der ganzen Welt mit maßgeschneiderten Anlagen für eine breite Palette von Anwendungen. Die FHR Technologieportfolio umfasst:
Blitzlampenausheilung (FLA; Glühen im Millisekundenbereich Regime) zur Behandlung und Modifikation (g. Umkristallisation, elektrische Aktivierung) von Halbleitern, Metalle, Keramik, Nanostrukturen und photonischen Materialien
Atomic Layer Deposition (ALD) für präzise gesteuerte Wachstum von Monolagen Stacks (g. leitfähigen und isolierenden Schichten, Barriere-und Haftschichten, optischer Schichten) verbunden mit ausgezeichneter Gleichförmigkeit der Dicke von komplexen 3D-Formen
Erweiterte Metallisierung Technologien durch Sputtern und CVD
Reaktives Sputtern Technologien zur Abscheidung von Oxiden und Nitriden
Erweiterte Ätzen Technologien durch Unterstützung von High-Density-Plasmaquellen
Neben Cluster-Typ und Rolle-zu-Rolle-Typ Ausrüstung für Dünnschicht-Verarbeitung auf klein dimensioniert und flexiblen Substraten, FHR bietet-Reihenmotor für die großflächige Beschichtung und liefert hochwertige, gebunden Sputtertargets.
Seit 2008 FHR-Anlagenbau GmbH gehört zu den centrotherm photovoltaics AG, a leading international provider of technology and services for the production of Solarzellen und Solar- Silizium.
Für weitere Informationen über FHR Anlagenbau GmbH, besuchen Sie unsere Webseite unter www.FHR.de.













